杂质对溶胶-凝胶SiO2薄膜激光损伤的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10 μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半.所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移.

关键词：溶胶-凝胶、SiO2增透膜、激光预处理、激光辐照损伤

所属期刊栏目：23

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术发展计划项目;中央高校摹本科研业务费专项资金项目ZYGX2009X007

在线出版日期：2011-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1267-1271