多层膜聚光镜对 Schwarzschild 显微镜成像均匀性的影响

摘要：

提出了利用多层膜聚光镜提高 Schwarzschild 显微镜成像均匀性的方法.设计了聚光镜的光学结构,使80%的等离子体辐射能量会聚在约0.8 mm直径的范围内,根据成像系统的工作波长和光线在聚光镜表面的入射角度,设计了Mo/Si周期多层膜,制备了聚光镜光学元件,膜层周期厚度为9.64 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的峰值反射率为51.7%.利用所设计的聚光镜作为照明系统,对Schwarzschild物镜进行了网格成像实验.结果表明:在1.2 mm视场内可以实现2.5μm的空间分辨力,并且完全消除了物镜中心遮拦所造成的像面光强分布不均匀性.

关键词：Schwarzschild显微镜、激光等离子体、聚光镜、Mo/Si多层膜、空间分辨力

所属期刊栏目：23

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目10825521,10773007;上海市科学技术委员会科研计划项目0952nm06900

在线出版日期：2011-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1259-1263