实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1~80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm.激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中.
准分子激光器、XeF、开关电源、i线、印刷电路板
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TN248.2(光电子技术、激光技术)
国家科技重大专项项目2009ZX02206
2011-09-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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