改性剂对旋转法SiO2减反膜均匀性的影响

摘要：

分析了采用旋转涂膜法制备溶胶-凝胶SiO2减反膜过程中条纹缺陷产生的机理,利用含氟醇类试剂对减反膜溶胶进行改性,使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善.在光学显微镜下对改性前后的膜层进行了对比和分析,对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征.结果表明:溶胶改性之后的膜层未出现条纹缺陷,表面粗糙度均方根值从4.55 nm下降到小于1.00 nm,膜层表面质量有了较大提高;改性前后膜层的增透性能相当,在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为99.60%～99.89%,膜层激光损伤阈值为21.0～25.3 J/cm2.

关键词：旋转涂膜、条纹缺陷、溶胶-凝胶、减反膜、含氟醇

所属期刊栏目：22

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2011-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2865-2870