纳秒激光脉冲诱导硅表面微结构

摘要：

利用Nd:YAG纳秒激光脉冲,在能量密度为1～10 J/cm~2范围内辐照单晶硅,形成了表面锥形微结构,在SF_6气氛和空气环境下均形成了锥形尖峰表面微结构.SF_6气氛下产生的锥形尖峰顶端都有小球,部分锥形上还有二次尖峰形成,空气中纳秒激光诱导的锥形尖峰微结构顶端和边缘有由液滴固化形成的粒状物质,不同于利用准分子纳秒激光诱导的细长须状结构和飞秒激光辐照下产生的具有表面枝蔓状纳米结构的锥形微结构.实验结果表明,这种尖峰微结构的形成与辐照激光的波长和脉冲持续时间有关.对空气中微构造硅的辐射反射的初步研究表明,在500～2 400 nm范围内的光辐射反射率不高于20 %.

关键词：纳秒激光脉冲、激光烧蚀、表面微结构、硅、光辐射反射

所属期刊栏目：22

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：四川省教育厅青年基金项目08zb006;西南科技大学博士研究基金项目06zx7113

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：393-396