多层膜界面结构探测技术

摘要：

分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO_2和SiO_2溶胶.用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了SiO_2单层膜、ZrO_2单层膜和ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三层膜.采用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透过率,利用TFCalc_Demo模系设计软件,采用三层理论模型对薄膜的透过率进行模拟,用扫描电镜(SEM)观察了三层膜的断面结构,用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,进一步验证了ZrO_2/SiO_2/ZrO_2三层膜之间的渗透关系,同时对多层膜的界面结构探测方法起到了借鉴作用.

关键词：椭偏仪、多层膜、溶胶-凝胶、渗透、透射率

所属期刊栏目：22

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术发展计划项目

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：327-330