镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应

摘要：

对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究.理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势,发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应.

关键词：薄膜、水致应力、面形、时间效应、湿度效应

所属期刊栏目：21

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2009-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：851-854