光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测

摘要：

光学元件亚表面缺陷的有效检测已成为高阊值抗激光损伤光学元件制造的迫切要求.基于全内反射照明原理开展了全内反射显微技术检测光学元件亚表面缺陷的实验研究.结果表明:全内反射显微技术可有效检测光学元件亚表面缺陷;入射光偏振态和入射角度会影响元件内界面下不同深度处驻波形式照明强度的分布,对于可见度发生明显改变的微小缺陷点能衡量出其一定的深度尺寸范围;利用显微镜精密调焦对界面下一定深度处缺陷成像,可知缺陷点的位置深度.

关键词：亚表面缺陷、全内反射、偏振、驻波、调焦

所属期刊栏目：21

分类号：O436(光学)

资助基金：中国工程物理研究院预研重大基金项目2007A08001

在线出版日期：2009-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：835-840