离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能
在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×1016, 1×1017和5×1017/cm2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜.X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型.X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时,由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强.
TiO2薄膜、锐钛矿、氮掺杂、离子注入、吸收光谱、射频磁控溅射
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TQ174.4;O433.4
教育部博士点基金资助课题20050614013
2009-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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