热蒸发YbF3薄膜的机械特性
实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力.利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力.结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程.热处理后.YbR薄膜应力增大.
光学薄膜、YbF3薄膜、应力分析、附着力、热蒸发
20
O484.4(固体物理学)
国家高技术发展计划项目
2008-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
1306-1308