脉冲激光晶化非晶硅薄膜的有限差分模拟

摘要：

根据热传导原理,建立了脉冲激光晶化非晶硅薄膜的理论模型.运用有限差分方法研究了不同激光波长、能量密度等因素对薄膜温度变化及相变过程的影响.计算了不同波长激光器对厚度500 nm非晶硅晶化的阈值能量密度.结果发现,准分子晶化的阈值能量密度最低,但是在同样的能量密度下,熔融深度却不及使用更长波长的激光器.计算并分析了升高衬底温度对结晶速度和晶粒尺寸的影响,模拟结果较好地验证了实验结论和规律.

关键词：激光晶化、非晶硅薄膜、多晶硅、有限差分模拟

所属期刊栏目：20

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2008-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1100-1104