10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源

摘要：

研制的10 kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术,将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了10 kV的高压脉冲输出.可通过增减脉冲单元的数量,满足不同输出电压的需要,实现了模块化设计.该电源的性能指标为:脉冲电压幅值0.1～10.0 kV,脉冲频率0.2～2.0 kHz,脉冲占空比5%～30% ,脉冲电流幅值20 A,脉冲功率200 kW.试验结果表明:在等离子体负载条件下电源运行稳定、可靠.

关键词：等离子体表面改性、高压脉冲电源、脉冲单元模块、串联

所属期刊栏目：19

分类号：TM91

资助基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划;哈尔滨市科技创新人才研究专项基金2006RFXXS012;国家自然科学基金50373007;10575025

在线出版日期：2008-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1927-1930