三点式氧碘化学激光器光腔准直技术

摘要：

提出三点式动态准直法,并以此设计具有自动校准功能的光腔自准直系统,提高了氧碘化学激光器的光束质量.该系统采用位置传感器作为光束位置检测元件,压电陶瓷作为动态调整元件,建立三输入三输出的耦合模型,利用多变量自适应闭环解耦控制法,实现准直系统的高速动态调整,实现了光腔准直,提高了光束质量.经初步实验验证,该系统准直范围可达4 mrad,精度为5 μrad,响应频率达20 Hz,满足氧碘化学激光器对光腔准直系统的要求.

关键词：氧碘化学激光器、三点式动态准直法、自动校准、解耦控制

所属期刊栏目：19

分类号：TN248.5(光电子技术、激光技术)

资助基金：交通部交通应用基础研究基金2005329225070;国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2008-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1812-1816