取样光栅镀膜减反技术研究

摘要：

根据惯性约束聚变系统技术要求,提出了镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题.使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性,详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化.结果发现,镀平面膜是一种可行的技术方案,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的;裸光栅的深度为12 nm时,平面减反膜厚为60 nm,即光学厚度为等效1/4波长:72 nm.此时的透射率为99.8%,取样效率为0.241‰.

关键词：取样光栅、减反膜、衍射效率、严格耦合波理论

所属期刊栏目：19

分类号：O436.1;O484(光学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划Q3210525;苏州大学校科研和教改项目Q3210525

在线出版日期：2007-04-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78