13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究

摘要：

介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测.基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜.采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N4基底上镀制了Mo/Si多层膜,制成了多层膜分束镜.利用X射线掠入射衍射的方法测量了Mo/Si多层膜的周期.用扩束He-Ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量.利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在13.9 nm处,分束镜反射率和透过率乘积达4%.使用多层膜分束镜构建了软X射线马赫贞德干涉仪,并应用于13.9 nm软X射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有C8H8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹.

关键词：软X射线、分束镜、马赫贞德干涉仪、Mo/Si多层膜

所属期刊栏目：18

分类号：TN246(光电子技术、激光技术)

资助基金：高比容电子铝箔的研究开发与应用项目;教育部新世纪优秀人才支持计划

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：773-778