氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响

摘要：

在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜.分别通过X射线衍射、光学光谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试,对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量.实验结果表明,薄膜中晶粒主要是四方相为主的多晶结构,并且随着氧分压的增加,结晶度、折射率以及弱吸收均逐渐降低.薄膜的激光损伤阈值开始随着氧分压增加从18.5 J/cm2逐渐增加,氧分压为9×10-3Pa时达到最大,值为26.7 J/cm2,氧分压再增加时则又降低到17.5 J/cm2.由此可见,氧分压引起的薄膜微结构变化是ZrO2薄膜激光损伤阈值变化的主要原因.

关键词：ZrO2薄膜、氧分压、激光损伤阈值、电子束热蒸发

所属期刊栏目：17

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12