强激光反射镜基体材料的热畸变特性有限元分析

摘要：

利用有限元方法数值模拟了单晶硅(Si)、铜(Cu)、钨(W)、氧化铍(BeO)等镜体材料的热畸变特性.结果表明:当入射激光功率为2 kW、镜面反射率为93%、光斑直径为17 mm、激光照射时间为10 s时,四种材料基板的中心最大热变形分别为0.984,3.32,1.55,1.88 μm.相比之下,Si镜的热变形最小,是比较理想的镜体材料;Cu镜的热变形最大;W和BeO两种材料的镜热变形介于Si镜和Cu镜之间,具有较高的强度和硬度,抗破坏能力较强.

关键词：热畸变、高能激光、反射镜、有限元法

所属期刊栏目：17

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69878008;国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8