激光驻波原子透镜的像差分析
用激光驻波构成的原子透镜对原子束实现nm量级的聚焦,由于原子束的速度扩散、束扩散和原子的波动特性等因素的影响,原子透镜存在像差.建立了两种描述原子透镜的理论模型,用半经典模型分析原子透镜的球差、色差及由原子束的发散角引起的像差,用量子模型分析原子透镜的衍射像差.模拟结果表明原子束的发散角是产生像差的主要因素,衍射像差大于球差和色差.提出了优化实验参数、增加束掩模和利用刻蚀技术三种改善原子光刻实验的方法.
激光驻波场、原子透镜、像差分析、光刻技术
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O435.2;TN305(光学)
中国科学院知识创新工程项目A2K0009;国家重点实验室基金
2004-11-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
1233-1239