高频H型放电离子源的场特性

摘要：

从Maxwell方程组出发,推导了高频H型放电离子源放电空间的场分布, 并采用Mafia软件进行了三维实体建模,计算了高频离子源放电击穿前和稳定工作后的电磁场分布,得到了高频离子源放电空间电磁场分布的直观图像.通过比较击穿前高频电场的轴向和环向分量,得出了轴向电场在高频离子源击穿中起主要作用的结论,并进而推导出了高频离子源的击穿判据,得出了气体击穿时离子源击穿电压和放电管内气压的关系,与实验结果符合较好.

关键词：高频离子源、击穿判据、场分布

所属期刊栏目：15

分类号：O536(等离子体物理学)

资助基金：国防科技应用基础研究基金

在线出版日期：2003-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：932-936