用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析

摘要：

对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化,使其具有更优的分频效果.在此基础上,对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析,给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许的误差范围.

关键词：ICF系统、分频光栅、占空比、塌边结构、允许误差

所属期刊栏目：15

分类号：TL632(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：455-458