光学膜层激光预处理过程研究

摘要：

光学元件经过激光预处理后,其抗激光破坏能力最大提高2倍以上 ,系统研究激光预处理机理和工艺,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值,提升高功率激光 系统的能量密度.研究了几种sol-gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化(损伤形貌 )以及损伤阈值的增幅,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关,预处理过程可逐步消除膜层缺陷.

关键词：光学膜层、激光预处理、损伤形貌

所属期刊栏目：14

分类号：TN246(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-804-5-14

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：321-324