SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜激光损伤的影响

摘要：

研究了SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜1064nm激光损伤的影响，分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出, 对于单脉冲（1-ON-1）激光损伤，SiO2半波覆盖层能提高HfO2/SiO2高反射膜的激光损伤阈值；可显著降低激光损伤程度，减小灾难性损伤发生的概率；可大幅度提高HfO2/SiO2高反射膜的抗激光损伤能力。

关键词：SiO2半波覆盖层、激光损伤阈值、损伤图貌、高反射膜

所属期刊栏目：13

分类号：TN244;TN246(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-416-2-4.15;中国工程物理研究院预研项目990225

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：137-141