大口径光学元件检测中的主要误差及其影响

摘要：

使用PSD作为大口径光学元件的质量评价标准，为保证检测系统的精度，标定了作为测试系统的大口径相移干涉仪的系统传递函数，并讨论了在对ICF驱动器中所使用的光学元件进行检测时产生的两种主要误差，即：由于放置倾斜导致的低频误差和由干涉条纹引入的高频误差。同时还分析了这些误差在进行计算和分析时可能造成的影响以及消除的方法。

关键词：大口径光学元件、传递函数、误差、PSD

所属期刊栏目：13

分类号：O437(光学)

资助基金：国家惯性约束聚变青年科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：133-136