制备工艺对HfO2薄膜抗激光损伤能力的影响
采用反应蒸镀法镀制了单层HfO2薄膜,观察了薄膜表面主要的微结构缺陷,研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化。结果表明:沉积工艺可以改变粗糙度,并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。
HfO2薄膜、表面粗糙度、激光损伤
13
TN244(光电子技术、激光技术)
中国工程物理研究院科技基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
31-33
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HfO2薄膜、表面粗糙度、激光损伤
13
TN244(光电子技术、激光技术)
中国工程物理研究院科技基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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