超高阈值Pick-Off反射镜的研制

摘要：

采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm.在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜.膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm2(1054nm,1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达λ/10(p-v),最终制备了超高阈值pick-off反射镜.

关键词：激光损伤阈值、反射波前、pick-off反射镜、电子束蒸发、水中抛光

所属期刊栏目：12

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：285-288