行星夹具膜厚均匀性计算
建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型.利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半径以及行星夹具的倾角之间的关系.并得到了一组典型结果.
薄膜、均匀性、计算
12
TH74(仪器、仪表)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
277-280
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薄膜、均匀性、计算
12
TH74(仪器、仪表)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
277-280
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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