X射线法测量ICF靶丸参数中表面轮廓法的应用

摘要：

在ICF靶参数测量中,用接触X射线显微辐射照相法记录微球X射线图像,采用精密表面轮廓仪处理微球X射线图像,直接测量了单层微球壁厚.与光干涉法比较,两种方法测量结果相差小于0.3μm.

关键词：X射线法、ICF靶、表面轮廓法

所属期刊栏目：12

分类号：TL619(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家科技攻关项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：69-71