软X射线多层膜反射镜的反射率测量

摘要：

采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm～40nm,谱分辨0.05nm,测得50层C/Al反射镜在中心波长28.6nm处反射率为22%±4%,带宽约为2.5nm.

关键词：X光多层膜镜、反射率、激光等离子体

所属期刊栏目：12

分类号：O434.14(光学)

资助基金：中国工程物理研究基础科研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：58-60