1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试
利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为φ250mm的无规位相板.台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24%,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布.表明该工艺可适用于大口径无规位相板的制作.
无规位相板、靶面均匀辐照、焦斑光强分布
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TL632.1(受控热核反应(聚变反应理论及实验装置))
国家科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
55-57