COIL用变形反射镜介质反射膜

摘要：

报道COIL激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验.在真空镀膜机内制备了膜系Sub/Ag(SiO2/HfO2)4/air和Sub/Ag(YbF3/ZnS)3/air,反射率分别为99.90%和99.87%.在经历109次循环后变形镜物理特性无变化.研究了COIL激光辐射下热畸变和损伤特性.分别在功率密度为1.52kW/cm2和1.18kW/cm2的COIL激光辐照下,这两种膜系的变形镜波前变化相应为0.37λ和0.54λ,因此对于变形镜1kW/cm2激光功率密度是安全可靠的.

关键词：变形镜、激光反射膜、膜层应力循环、热畸变

所属期刊栏目：12

分类号：O484.4+1(固体物理学)

资助基金：国家科技攻关项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22