波长1O64nm脉冲激光高阈值反射膜的研制
研究HfO2/SiO2高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试,分别采用了反应蒸镀HfO2、反应离子辅助蒸镀HfO2、反应离子辅助蒸镀金属Hf的源材料形成HfO2薄膜.采用这三种工艺制备了HfO2/SiO2高反射膜,在中心波长1064nm处,反射率R≥99.5%,其中反应蒸镀HfO2/SiO2高反射膜损伤阈值最高,可达60J/cm2(1064nm,5ns).
HfO2/SiO2反射膜、激光诱导损伤阈值、电子柬蒸发、等离子辅助沉积
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TN24(光电子技术、激光技术)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
413-417