可自动消除NG竖线缺陷的Mura检测机设计探究
目前TFT-LCD行业CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG.每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉.而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高.文章提出一种可消除NG竖线的Mura检测机的设计探究.新型的Mura检测机可通过新设计的"探针单元"确定竖线区域膜厚的高低,再利用"竖线处理单元"对竖线进行处理,并根据"图像对比单元"的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG.这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的修补.
NG竖线;Mura检测机;图像对比
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TN141.9(真空电子技术)
2021-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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