一种芯片制造中的玻璃钝化工艺
文章在分析TVS产品的功能和制作原理的基础上,针对目前TVS芯片PN结表面玻璃钝化工艺存在的问题,提出一种新的玻璃钝化工艺,给出玻璃钝化过程中最佳N2:O2浓度比、最佳原料组分比以及最佳烧结温度,使得公司TVS产品的成品率从原来的83%提高到95%.
玻璃钝化、TVS、烧结、成品率
TQ171.7
2021-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
128-131
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玻璃钝化、TVS、烧结、成品率
TQ171.7
2021-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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128-131
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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