光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案

摘要：

光刻机是一种高度精密、高度集成,包含很多电力电子器件的设备.其主要控制器件几乎全部集成在各种机箱里.因为各种元器件安装密集度很高,导致各种电力电子器件之间的电磁干扰问题越来越突出,严重影响光刻机整台设备的性能和MTBF指标.因此,光刻机的机箱必须具有较高水平的电磁兼容能力,才能保证整台设备的EMC性能,所以解决光刻机各种机箱电磁兼容性是刻不容缓的一个课题.

关键词：光刻机、EMC、EMI、屏蔽、滤波、接地

分类号：TN03(一般性问题)

在线出版日期：2020-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：126-127