一种微小型磁矢量传感器设计
文章介绍了一种微小型磁矢量传感器设计.该传感器的检测单元包括两个磁敏感单元和一套信号处理系统.磁敏感单元采用MEMS技术制作,具有体积小、集成度高等特点.信号处理系统通过对两个磁敏感单元对空间地磁信号进行采集,并通过对磁敏感单元的信号数据处理,有效地改善了传感器的非线性和噪声,提高了传感器的灵敏度和线性度.对采用MEMS技术制作的微小型磁矢量传感器进行性能测试,测试结果表明:该传感器的灵敏度优于100pT/Hz1/2,线性误差≤0.1％.
微小型磁矢量传感器、设计、信号处理
TN911.7
2020-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
34-36
