扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法研究
扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注.文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容.
扫描探针显微镜、微纳结构、深度测量、校准方法
TP391(计算技术、计算机技术)
国家重点研发计划资助编号:2018YFF02123404
2020-03-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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