一种高频高压等离子体发生器

摘要：

针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器.该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现等离子体的稳定发生.实验结果表明,该系统与传统直流等离子体发生器相比电源效率提升了5.4％.

关键词：等离子体发生、全桥移相、高频谐振

分类号：O531(等离子体物理学)

资助基金：苏州大学"大学生创新创业训练计划"201710285016Z

在线出版日期：2019-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22