压电微喷驱动振子的有限元仿真与分析

摘要：

压电驱动振子是由压电陶瓷层和单晶硅层组成的复合结构.面向药物微喷应用,以压电驱动振子为研究对象,结合压电本构方程,利用Ansys软件对驱动振子进行模态分析,获得各阶模态振型和固有频率,以及在相应振型下驱动膜上的压力波幅值分布.同时通过对其进行谐响应分析,得出了压电驱动振子的轴向位移分布曲线,为压电微喷液滴发生器的设计提供理论依据.

关键词：微喷、压电驱动、有限元分析、耦合场

分类号：V519(航天用燃料（推进剂）及润滑剂)

在线出版日期：2018-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-27,29