微型风速传感器的研究
文章在分析风速传感器的结构和机理的基础上,进行了微型风速传感器的设计、结构研究、制作、测试,并对实验结果进行了分析.传感器的芯片是基于托马斯流速计原理,采用硅微机械加工技术制成的.将敏感元件制成微悬桥结构,加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,从而实现低风速风场测量.文章重点研究了微型风速传感器的基本结构、恒定温差控制电路和非线性补偿技术.通过流速与流速之间互换,实现风场测量.
硅微桥、风速、传感器
TP212(自动化技术及设备)
2018-01-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
155-156