前聚焦式3轴振镜的调焦原理与应用
使用两轴振镜配合ftheta透镜进行激光扫描加工已经获得了广泛应用,但该方式的扫描幅面较小,无法满足大幅面加工的要求.前聚焦式振镜不需要使用ftheta透镜,能够在保持近衍射极限聚焦光斑下获得数倍于ftheta透镜的扫描范围.文章研究讨论了前聚焦式3轴振镜的调焦原理和在典型大幅面加工上的应用.
3轴激光振镜、前聚焦式、调焦光学原理、大幅面加工应用
TP2;TM9
2017-06-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
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3轴激光振镜、前聚焦式、调焦光学原理、大幅面加工应用
TP2;TM9
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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