分析制备分焦平面光栅偏振探测器

摘要：

文章设计和制备基于斯托克斯矢量条件下的分焦平面金属铝纳米光栅像素偏振片阵列,应用电子束曝光EBL和感应耦合等离子体ICP技术在占空比为0.5相同条件下,制备周期为100nm-400nm,线宽为50nm-300nm,每相邻2×2单元的透偏振方向为00,450,1350,900的金属铝纳米光栅偏振片阵列.通过电子扫描显微镜观察结构形貌,表征测量偏振片性能参数消光比和透射率.

关键词：偏振片阵列、铝纳米光栅、消光比、最大透射率

分类号：O43;TP2

在线出版日期：2017-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：24-25