面向极紫外应用的激光烧蚀理论概述
文章通过对极紫外激光烧蚀理论进行阐述,浅谈了激光辅助放电等离子体烧蚀理论相对于激光产生等离子体(Laser Pro duce Plasma,LPP)和放电产生的离子体(Discharge Produce Plasma,DPP)的优势,同时对该理论和实验装置进行简要的概述,力求通过文章,使人们能够对该理论有更好的宏观认识.
激光辅助放电等离子体、激光烧蚀、宏观认识
S47;TN2
2016-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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激光辅助放电等离子体、激光烧蚀、宏观认识
S47;TN2
2016-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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