六氟化钨高纯电子气体专利分析
六氟化钨是自然界中最活泼元素氟的一种无机化合物,在室温下是无色气体或浅黄色液体,固体为易潮解的白色结晶.可用于电子工业,也可通过CVD技术用于使钨在钢表面上形成坚硬的碳化钨,并广泛用于氟化剂、聚合催化剂.
六氟化钨、电子气体、专利
O62;TQ1
2016-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
73
点击收藏,不怕下次找不到~
六氟化钨、电子气体、专利
O62;TQ1
2016-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
73
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn