1064nm激光束薄膜三等分系统的研制

摘要：

为了实现激光器的共享，提高其利用率，设计并研制了对1064nm的激光光束进行三等分的系统，该系统由三个不同性能的薄膜器件构成，与入射光束成45毅角放置，系统结构简单。薄膜器件从膜系设计到制备过程都力求加强抗激光损伤能力，得到的三等分激光束具有共面、间距可调的特点。

关键词：CO2激光器、激光分束、薄膜

分类号：TN9;G63

在线出版日期：2013-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：6-6,7