多晶硅生产中氯化氢吸收塔的模拟研究

摘要：

采用PRO/Ⅱ模拟软件,选用PRM方程,对多晶硅生产过程中氯化氢吸收塔进行了模拟研究.结果表明,在操作压力为1.5 MPaG(相对压力)、吸收剂温度为-40℃、理论塔板数为24块时,选择合适的氯硅烷吸收剂用量可对尾气中的HCl实现良好的吸收.

关键词：多晶硅、PRO/Ⅱ模拟软件、氯化氢、生产工艺

所属期刊栏目：34

分类号：TQ11

在线出版日期：2013-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：147-151