SiO2/Si基Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15薄膜的制备及C-V特性研究

摘要：

利用sol-gel方法在SiO2/Si基板上制备了Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (CSBT)铁电薄膜,其中Si(100)为P型.利用XRD、SEM测试手段研究了CSBT铁电薄膜的结构与形貌,测试了Au/CSBT/SiO2/Si/Au结构的介电特性和C-V曲线.

关键词：CSBT铁电薄膜、层层退火、择优取向、C-V特性

所属期刊栏目：32

分类号：X937(安全工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50872075

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：560-562