10.3969/j.issn.1672-6987.2007.05.015
不同碳源对金刚石薄膜制备的影响
采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置,分别用甲烷和乙醇为碳源进行了金刚石薄膜的制备.并运用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析.结果表明,用乙醇制备的金刚石薄膜比甲烷制得的金刚石薄膜的生长率要高,膜的缺陷少、颗粒均匀.
等离子体、热丝化学气相沉积、碳源、金刚石薄膜
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TB333(工程材料学)
2008-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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