等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜

摘要：

运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石/碳化钛复合膜的沉积. 实验条件:甲烷流量与氢气流量比为1∶50,基体温度860 ℃,等离子体偏压300 V,沉积气压4 kPa.运用扫描电子显微镜(SEM)分别观察了沉积膜的表面和断面形貌;运用能量扩散电子谱(EDX)对沉积的复合膜进行分析,观察到Ti元素峰和C元素峰;运用X射线衍射(XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰.实验表明,用等离子体辅助热丝化学气相沉积法可以制备出晶型良好的金刚石复合膜.

关键词：金刚石膜、复合膜、化学气相沉积

所属期刊栏目：25

分类号：TB333(工程材料学)

资助基金：山东省自然科学基金Y2001F10

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：332-334