浅谈MEMS(微电子机械系统)技术
@@ 我们利用MEMS技术制造传感器已经有一段时间了,最具代表性的是压力传感器,在压力传感器中我们用硅来蚀刻振动膜.而目前,采用更成熟的MEMS技术的产品即将进入市场,并且有望在诸如车辆碰撞传感领域取得优势地位.
微电子机械系统、压力传感器、优势地位、进入市场、技术、车辆碰撞、振动膜、制造、蚀刻、产品
U4(公路运输)
2007-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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微电子机械系统、压力传感器、优势地位、进入市场、技术、车辆碰撞、振动膜、制造、蚀刻、产品
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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