纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验

摘要：

基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性.测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值.

关键词：微纳米测量、重力补偿器、扫描静电力显微镜探针系统、双高度法

所属期刊栏目：48

分类号：TH721(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目51405003;安徽省教育厅自然科学基金重点项目KJ2015A058

在线出版日期：2017-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：417-422